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由於目前LCD面板已發展到8.5代廠,LCD面板其尺寸越做越大,新ㄧ代面板廠期望能加快生產速率、降低不良率、與減少成本等訴求。本文研究主題為LCD面板冷卻設備,其主要用於冷卻反覆烘烤後的LCD面板,…